فایل ورد قابل ویرایش
دانلود پروژه تکنولوژی سیستم های میکرو الکترومکانیکی(MEMS)
MEMS یک تکنولوژی است،که قادر به ساخت دسته ای از ساختارها ،دیوایس ها وسیستم های مکانیکی کوچک شده است.این تکنولوژی دارای تعدادی مزیت ها نسبت به تکنولوژی IC ها دارد
1- کاهش هزینه در ساخت
2- ثبات دیوایس به دیوایس از تکنولوژی لیتوگرافی واچینگ
3- پیشرفت نقش کلی آن ها در مقیاس پایین که به کاهش وزن واندازه منجر می شود
سیلیسیوم یک ماده مناسب برای ساخت دیوایس های MEMS است.زیرا این ماده دارای خواص فیزیکی و مکانیکی خوب برای ماشین کاری دارد.همچنین Si ارزان قیمت و به وفور در معادن یافت می شود.در سال 1992 خواص مکانیکی MEMS توسطPetersen انجام شده است.مشخصات مفید این دیوایس ها باعث شده است،که MEMS یک تکنولوژی پیروز در تعدادی حوزه های کاربردی شامل شتاب سنج ها، سنسور های فشار،میکرو اپتیک و غیره باشد.[1]
RF MEMS نسبتا جدید است،اما یک هیجان زیاد به خاطر افزایش نقش وکاهش هزینه ساخت ایجاد کرده است.تجارت مدرن وبه طور ویژه ارتباطات نظامی،کشتیرانی وخطوط اطلاعات برای این کاربرد ها طراحی شده اند.برای سیستم های ارتباطی ،در کاربرد های تجاری ونظامی ،یک حرکت پیوسته برای کوچک تر شدن وجود دارد.